Un material innovador para In

Polímeros de ingeniería de DuPont, Newark, Delaware

Las piezas de Vespel están fabricadas con un polímero exclusivo de DuPont que ha sido calificado como un solucionador de problemas para la industria de los semiconductores. Vespel SPC es una nueva generación de piezas y formas de poliimida Vespel para la fabricación de semiconductores, con un rendimiento mejorado y un valor añadido en las cámaras de grabado y otros entornos exigentes de procesamiento de obleas.

Según el Dr. Gary Poovey de Lam Research Corp., diseñador y fabricante de equipos de procesamiento utilizados en la fabricación de circuitos integrados, Vespel tiene varias características que son cruciales para las aplicaciones en cámaras. Vespel aElectronics Tech Briefs, junio de 1999 sobrevive a altas temperaturas, resiste los ciclos de calor y mantiene su forma bajo presión. También es muy estable en entornos de plasma y demuestra una excelente resistencia mecánica. Finalmente, debido a que Vespel no transfiere calor, no atrae las deposiciones tan fácilmente como otros materiales, lo que conduce a una mayor limpieza en la cámara.

El Dr. Ray DeColibus, desarrollador de la formulación Vespel SCP, confirma que los niveles de contaminación de iones metálicos de Vespel tienden a ser muy bajos en comparación con otros polímeros. Vespel es muy estable a la oxidación, incluso a temperaturas muy altas, y ofrece una mayor resistencia al plasma, lo que es especialmente importante para los fabricantes de semiconductores.

El mayor consumidor actual de Vespel en la industria de semiconductores es el segmento de grabado, donde se utiliza para anillos de sujeción de obleas, placas de distribución de gas, anillos aislantes, revestimientos de cámaras, anillos de borde, anillos de confinamiento, tornillos y clips, y componentes de pasadores de elevación. Estas piezas de Vespel contribuyen a mejorar el rendimiento de la matriz a través de una mayor uniformidad de grabado y un efecto de borde reducido. Vespel también se utiliza en PVD, CVD, implante de iones y otros procesos.

Debido a su combinación única de propiedades, Vespel se está utilizando para reemplazar el cuarzo en una variedad de aplicaciones de semiconductores. Muchos fabricantes de semiconductores están sustituyendo con éxito Vespel por cuarzo sin realizar ningún cambio en sus condiciones de procesamiento, al mismo tiempo que ven beneficios en sus procesos generales de fabricación de obleas. Por ejemplo, en los anillos de sujeción de obleas, la mayor tenacidad de Vespel evita la fractura que puede ocurrir con el uso de cuarzo. Los anillos de cobertura y de enfoque también se han convertido a Vespel, para aprovechar su limpieza y uniformidad de grabado superiores.

En aplicaciones documentadas recientemente, las piezas fabricadas con Vespel han durado hasta tres veces más que las poliimidas estándar. A través de su durabilidad, confiabilidad, larga vida, mantenimiento reducido y mayores rendimientos, ayuda a los fabricantes de semiconductores a reducir su costo de propiedad en los sistemas de grabado actuales y en los sistemas de plasma de alta densidad de próxima generación. En el momento de la compra inicial y durante la vida útil de la pieza, el costo de las piezas Vespel es muy competitivo con el cuarzo y la cerámica.

Para satisfacer la necesidad de piezas más grandes que puedan soportar condiciones de cámara agresivas y proteger la pureza del proceso, DuPont ofrece Vespel en diámetros que van desde un cuarto de pulgada hasta 22 pulgadas. Las piezas tamaño king son ideales para anillos de confinamiento más grandes, anillos de protección, anillos de enfoque y varios otros usos.

Para obtener más información, visite el sitio web de DuPont Semiconductor Enterprise: www.dupont.com/semiconductors, o el sitio web de Vespel: www.dupont.com/enggpolymers/americas/products/vespel.html o llame al 1-800-972-7252 .

Este artículo apareció por primera vez en la edición de junio de 1999 de la revista Electronics Tech Briefs.

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